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碳酰氟碳是高毒**性气体,对皮肤及呼吸道粘膜具有强烈的**作用。可用于半导体制造装置的清洗气和刻蚀气,有机化合物的氟化气和原料以及有机合成的中间体、氟化剂,作为半导体制造装置用的清洗气需要高纯度的COF2。毒...
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